烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的Z用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结。

为了保证粉末压坯在烧结过程中的脱蜡（润滑剂或成形剂）、还原、合金化、组织转变等顺利进行，烧结时需要对烧结温度、保护气氛、压坯传送方式、加热和冷却速度等进行J确的控制。

低孔隙度是高质量硬质合金的重要标志，气体压力烧结能有效消除硬质合金孔隙度，达到真空、氢气烧结炉无法达到的效果。随着经济的发展，硬质合金生产技术不断进步，烧结炉已经成为高质量硬质合金烧结的一种主导技术。在硬质合金生产工艺中，烧结是决定硬质合金结构与性能的关键工序。压力烧结炉是生产高性能硬质合金的关键设备，经压力烧结的硬质合金制品，具有极优良的组织结构，无论是制品的强度，还是产品的硬度和密度，均有相应的提高。

如图1所示，硬质合金压力烧结工艺流程为：将装好压坯的舟皿放入炉内，关好炉门，压力烧结炉自动进行微正压检漏和真空检漏。检漏测试通过后，炉内抽真空至设定的真空度，并按设定的工艺曲线加热升温。成型剂石蜡随温度升高逐渐逸出，石蜡蒸汽被抽入捕蜡系统，石蜡在捕蜡器中被回收。脱蜡过程结束后，继续加热升温进入脱氧预烧及烧结阶段。在烧结阶段后期，关闭主真空挡板阀，炉内通入5MPa压力的氩气并保温一段时间，对烧结体进行压力烧结以消除合金孔隙、裂纹等缺陷。压力烧结结束后，切断加热电源，让炉子自然冷却到50-80℃卸压出炉。

压力烧结炉炉内气体排出路线如下：

1、开炉、预烧及烧结阶段 　　炉膛（脱蜡阀关闭）→主真空挡板阀→主真空管→真空机组

2、脱蜡阶段 　　炉膛（主真空挡板阀关闭）→脱蜡阀→脱蜡管→捕蜡器（蜡蒸汽在此被回收）→真空机组